特点：Features: 立式钟罩液压或电动升降结构、全无油、抽速大、极限真空度高、适应大型磁控管、速调管等微波器件排气。 Vertical bell-cap hydronic pressure or electronic raise and fall structue, totally oil-free, high-speed pump rate, ultra high vacuum degree, are suitable for the application of microwave components such as  large-scale magnetron and klystron. 主要规格：Main specifications 主真空极限真空度 5×10-8  Pa 外真空极限真空度 < 6.7×10-5  Pa 加热温度 700℃ 钟罩内尺寸 φ900×2000mm 真空系统配置 L-600溅射离子泵1台/电源1台 F-450涡轮分子泵1台/电源1台 2XZ-8旋片泵1台（带挡油阱） CK-300扩散泵1台（外真空用） 2X-30旋片泵1台（外真空前级用）